什么是凈化車(chē)間？

凈化車(chē)間是指在一定空間內排除空氣中的顆粒、有害空氣、細菌等污染物，將室內溫度、濕度、潔凈度、室內壓力、氣流速度及分布、噪聲振動(dòng)、照明、靜電控制在規定要求范圍內的專(zhuān)門(mén)設計的房間。也就是說(shuō)，無(wú)論外部空調如何變化，其內部都可以具有保持原本要求的潔凈度、溫度、濕度、壓力等性能的特點(diǎn)。

定義凈化車(chē)間。

凈化室的主要功能是控制產(chǎn)品(如硅片等)接觸空氣的潔凈度、溫度和濕度。)，使產(chǎn)品能在良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)制造，這就是所謂的凈化室。按照國際慣例，無(wú)塵凈化等級主要根據空氣中粒徑大于每立方米的顆粒數量來(lái)確定。也就是說(shuō)，所謂無(wú)塵不是沒(méi)有灰塵，而是控制在一個(gè)更小的單元里。的確，這個(gè)標準中的塵埃粒子與我們常見(jiàn)的塵埃相比微不足道，但是對于光學(xué)結構來(lái)說(shuō)，即使是微小的塵埃也會(huì )產(chǎn)生很大的負面影響。因此，無(wú)塵生產(chǎn)光學(xué)結構是必然要求。

小于0.3微米/立方米的顆粒數控制在3500以下，達到國際無(wú)塵A級標準。目前芯片級生產(chǎn)加工的無(wú)塵標準對粉塵的要求比A級高，這個(gè)高標準主要適用于一些高檔芯片生產(chǎn)。粉塵量在5μm以下，嚴格控制在每立方米1000以?xún)?，即工業(yè)上常見(jiàn)的1K級。